ALN-värmare för halvledartillverkning

Som en professionell tillverkare i Kina är GREENWAY-fabrikens kvalitets-ALN Heater for Semiconductor Manufacturing en typ av värmeelement tillverkat av aluminiumnitrid, ett material känt för sin exceptionella värmeledningsförmåga, elektriska isoleringsegenskaper och hög temperaturstabilitet.

ALN-värmare används i en mängd olika applikationer som kräver exakt temperaturkontroll och effektiv värmeöverföring.

Komparativa fördelar

GREENWAY AlN har en värmeledningsförmåga på cirka 140-180 W/mK, vilket är mycket högre än många andra keramiska material. Detta möjliggör effektiv värmeöverföring och jämn temperaturfördelning. Det är en utmärkt elektrisk isolator med hög dielektrisk styrka, vilket gör den lämplig för applikationer där elektrisk isolering är viktig.

Produktparameter

~Enhetlig yttemperatur~

FAQ

F1: Hur tillverkas ALN-värmare?

Sintring: AlN-pulver pressas till önskad form och sintras sedan vid höga temperaturer för att bilda en solid, tät keramisk värmare.

Tunnfilms- och tjockfilmsteknologier: Resistiva värmeelement avsätts på AlN-substrat med tunnfilms- eller tjockfilmsteknologier, vilket skapar exakta uppvärmningsmönster.

F2: Varför används AlN-värmare i halvledartillverkning?

AlN-värmare ger exakt och enhetlig uppvärmning, vilket är viktigt för halvledartillverkningsprocesser som waferbearbetning och tunnfilmsavsättning. Deras höga värmeledningsförmåga och elektriska isolering säkerställer effektiv och pålitlig prestanda.

F3: Kan AlN-värmare anpassas för specifika applikationer?

Ja. 

①AlN-värmare kan tillverkas i olika former, storlekar och effektklasser för att möta specifika applikationskrav, vilket säkerställer optimal prestanda.

②K-typ termoelement kan förinbäddas för exakt temperaturkontroll med sluten slinga.

③Små satser som levereras stöds här för prototypframställning och testning före massproduktion.